掃描電鏡中的電子束如何產生和控制？
日期：2023-09-25
掃描電鏡中的電子束產生和控制是關鍵的操作步驟，它們直接影響到成像的質量和分辨率。以下是電子束在掃描電鏡中如何產生和控制的基本原理：
電子束的產生：
電子槍： 掃描電鏡的核心部件之一是電子槍，通常包括一個熱陰極或場發射槍。熱陰極使用熱能激發電子，而場發射槍則利用電場來推出電子。這些電子源產生高能電子束。
電子加速： 產生的電子束被加速器加速，通常通過使用一系列電場。這些電場可以控制電子束的速度和能量。
電子束的控制：
透鏡系統： 掃描電鏡中有一系列電子透鏡，包括透鏡、對焦透鏡和偏轉透鏡。這些透鏡用于控制電子束的焦點和定位。
束縛系統： 掃描電鏡還包括束縛系統，它用于控制電子束的直徑和發散度。束縛系統通常包括一個或多個孔徑和電子鏡。
掃描線圈： 電子束的定位和掃描是通過在樣品上放置一組電子束偏轉線圈來實現的。這些線圈可在水平和垂直方向上控制電子束的位置。
探測器： 掃描電鏡通常配備各種類型的探測器，用于測量從樣品反射或散射回來的電子信號。不同類型的探測器可以用于不同的成像模式和分析技術，如SEI和BSEI。
電子束控制系統： 掃描電鏡的電子束控制由計算機系統負責。用戶可以通過計算機界面調整電子束的強度、聚焦、掃描速度和掃描模式等參數。
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作者：澤攸科技