掃描電鏡如何應對非導電樣品的觀察
日期：2023-12-20
在掃描電鏡（SEM）中，觀察非導電樣品時會面臨電荷積聚、圖像漂移等問題。為了解決這些問題，可以采用一些特殊的樣品處理和技術手段。以下是一些常見的方法：
導電涂層：
對非導電樣品進行導電涂層是一種常見的方法。通過在樣品表面涂覆薄導電層，如金屬或碳，可以提高樣品的導電性，減少電荷積聚。這有助于在掃描電鏡中獲得更清晰的圖像。
金屬蒸鍍：
利用金屬蒸鍍設備對樣品進行金屬蒸鍍，形成薄導電金屬層。這種方法適用于小型樣品，如生物樣品、纖維等。金屬蒸鍍可以提供良好的導電性，同時保持樣品表面的形貌。
碳蒸鍍：
對樣品進行碳蒸鍍是另一種增加導電性的方法。碳薄膜可以在樣品表面形成均勻的導電層，適用于一些對金屬靈敏的樣品。
樣品制備技術：
優化樣品的制備技術，采用導電基底材料或導電膠水將非導電樣品固定在導電基底上。這樣可以改善樣品的導電性，并減輕電荷積聚的影響。
低電壓成像：
降低掃描電鏡的電子束能量，采用較低的加速電壓。較低的電子束能量有助于減小電荷積聚的影響，但也可能降低分辨率。
防靜電裝置：
使用防靜電設備，如防靜電棒、離子風機等，以減輕電荷積聚。這些設備可以在觀察過程中減小樣品表面的靜電電荷。
逐步掃描：
采用逐步掃描的方式進行觀察，減少電荷的累積。這意味著在不同區域進行逐步掃描，以減小電荷影響的積累。
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作者：澤攸科技