在掃描電子顯微鏡（SEM）中，掃描速度指的是電子束在樣品表面每個(gè)像素上停留的時(shí)間，通常通過(guò)設(shè)置“幀時(shí)間”或“像素駐留時(shí)間”來(lái)調(diào)節(jié)。這個(gè)參數(shù)對(duì)圖像的質(zhì)量影響很大。

如何設(shè)定掃描速度

掃描模式選擇：常見(jiàn)模式有：

快速掃描（Fast Scan）：用于快速預(yù)覽樣品。

慢速掃描（Slow Scan）：用于高質(zhì)量圖像采集。

調(diào)節(jié)幀率或駐留時(shí)間：

在 SEM 控制界面中，通常可以設(shè)定“幀時(shí)間”（如 1 秒、10 秒）或“像素駐留時(shí)間”（如 10 μs、100 μs）。

有些系統(tǒng)允許設(shè)定掃描分辨率（如 512×512、1024×1024），間接影響掃描速度。

平均掃描（Frame Averaging）：

可通過(guò)設(shè)置多幀平均（如平均 4 幀、8 幀）提升圖像信噪比，但總掃描時(shí)間會(huì)變長(zhǎng)。

當(dāng)掃描速度較快時(shí)，電子束在每個(gè)像素上的停留時(shí)間很短，信號(hào)采集不充分，圖像容易出現(xiàn)噪點(diǎn)，顆粒感重，清晰度不高。這種設(shè)置適合用于快速瀏覽樣品結(jié)構(gòu)或在調(diào)整焦距、亮度、對(duì)比度時(shí)使用。

而當(dāng)掃描速度較慢時(shí)，電子束有更長(zhǎng)時(shí)間作用于每個(gè)像素，從而產(chǎn)生更多的信號(hào)，圖像更清晰、對(duì)比度更高，細(xì)節(jié)也更容易分辨。但缺點(diǎn)是如果樣品不穩(wěn)定，比如容易充電、熱敏感或存在機(jī)械漂移，那么圖像可能會(huì)出現(xiàn)模糊、拖影或者局部變形。

為了在保證圖像質(zhì)量的同時(shí)降低樣品損傷和漂移風(fēng)險(xiǎn)，有時(shí)會(huì)采用“平均掃描”的方法，即快速掃描多幀后平均疊加成一幅圖像，這樣可以兼顧速度和質(zhì)量。

因此，掃描速度設(shè)置應(yīng)根據(jù)樣品類型、圖像清晰度需求以及系統(tǒng)穩(wěn)定性靈活調(diào)整。如果你在拍攝過(guò)程中發(fā)現(xiàn)圖像噪聲大、細(xì)節(jié)模糊，建議適當(dāng)減慢掃描速度或啟用多幀平均功能。反之，若圖像出現(xiàn)拖影或樣品損傷，可適當(dāng)提高掃描速度或降低電子束電流。