掃描電鏡（SEM）圖像的尺寸標定是為了確保圖像上的距離測量與實際物理尺寸相對應(yīng)。具體做法如下：

1. 使用標準樣品進行標定

選用已知尺寸的標準樣品（例如具有規(guī)則尺寸的金屬網(wǎng)、硅球、納米線等），是可靠的方式。

操作步驟：

在掃描電鏡中觀察標準樣品；

選擇合適的放大倍率，獲得清晰圖像；

使用電鏡軟件的測量工具，測量標準樣品中已知長度在圖像中的像素長度；

計算每個像素所代表的真實物理長度（單位如 nm/pixel）；

記錄該放大倍率下的像素比例，以用于后續(xù)圖像分析。

2. 利用電鏡自帶標尺或標定功能

多數(shù)現(xiàn)代掃描電鏡系統(tǒng)配有自動標定功能和比例尺生成工具。這些功能一般由制造商預先根據(jù)系統(tǒng)硬件參數(shù)設(shè)置，需注意：

在未更改放大倍率、電壓、工作距離前提下，系統(tǒng)自動生成的比例尺通常是準確的；

若調(diào)整參數(shù)或進行設(shè)備維護后，應(yīng)重新校準；

使用比例尺前，建議用標準樣品驗證其準確性。

3. 手動添加比例尺

如果圖像沒有自動生成比例尺，也可以根據(jù)已知標定數(shù)據(jù)手動添加：

根據(jù)之前標定獲得的比例（如 5 nm/pixel）；

在圖像中手動繪制一條線（例如 200 pixels）；

注明其對應(yīng)長度（如 “1 μm”）作為比例參考。

4. 避免影響標定準確性的因素

保持焦距準確，避免圖像模糊；

盡量使樣品表面垂直于電子束，防止因傾斜引起尺度失真；

避免使用高噪聲、拖影、畸變嚴重的圖像作為標定依據(jù)；

不同放大倍率需要分別進行標定。