樣品傾角對掃描電鏡（SEM）圖像的成像質(zhì)量、對比度和分辨率都有顯著影響，主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

影響信號(hào)收集效率

當(dāng)樣品傾斜時(shí)，入射電子束與樣品表面的相互作用體積形狀發(fā)生變化，背散射電子（BSE）和二次電子（SE）的發(fā)射方向也隨之改變。

傾角增大時(shí)，二次電子發(fā)射增強(qiáng)，圖像表面細(xì)節(jié)更明顯；

但若傾角過大，會(huì)導(dǎo)致信號(hào)不均或陰影效應(yīng)。

增強(qiáng)表面形貌對比

適當(dāng)?shù)膬A斜角能增加表面凹凸處的明暗差異，使圖像具有更強(qiáng)的立體感，有助于觀察微結(jié)構(gòu)的形貌特征。

影響分辨率

傾角增大會(huì)導(dǎo)致電子束在樣品上的投影面積增大，從而降低有效分辨率，特別是在高放大倍率下表現(xiàn)明顯。

導(dǎo)致幾何畸變

傾斜后的樣品圖像會(huì)產(chǎn)生比例失真，例如一側(cè)被拉伸或壓縮，測量時(shí)須進(jìn)行幾何校正。

影響能譜分析結(jié)果（EDS）

在能譜分析時(shí)，樣品傾斜角度會(huì)改變探測器的接收角度，影響X射線收集效率和元素定量準(zhǔn)確性。

增加充電效應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)（非導(dǎo)電樣品）

傾角過大時(shí)，電子可能在樣品表面堆積不均，從而加劇電荷積聚現(xiàn)象。