在掃描電鏡（SEM）觀察中，判斷樣品是否發(fā)生充電現(xiàn)象非常重要，因?yàn)殡姾煞e聚會直接影響圖像質(zhì)量。以下是一些常見的判斷方法和分析依據(jù)：

一、從圖像特征判斷

圖像局部過亮或過暗。

充電樣品表面帶電后會改變電子束的入射角度或散射方式，導(dǎo)致圖像出現(xiàn)異常的高亮區(qū)或黑暗區(qū)。

例如，某一區(qū)域突然變得非常亮，而鄰近區(qū)域正常，這往往說明電荷在該處積聚。

圖像漂移或跳動。

電子束在掃描時被電場偏轉(zhuǎn)，會導(dǎo)致圖像緩慢移動、變形或無法穩(wěn)定在同一位置。

如果焦距和放大倍數(shù)不變，但圖像在屏幕上“滑動”，很可能是樣品表面帶電。

圖像出現(xiàn)條紋或波紋狀干擾。

充電會在樣品表面形成不均勻的靜電場，電子信號在不同掃描線上被不同程度偏轉(zhuǎn)，從而出現(xiàn)周期性條紋或噪聲。

無法正常聚焦或焦點(diǎn)漂移。

樣品帶電時，電子束受靜電干擾，聚焦點(diǎn)位置不斷變化。調(diào)焦時，圖像似乎“快要清晰”卻始終無法穩(wěn)定。

二、從操作現(xiàn)象判斷

切換放大倍數(shù)后，圖像突然閃爍或飄移。

在高倍率下，電子束更集中，電荷積聚更快，因此充電效應(yīng)更加明顯。

若放大倍數(shù)越高圖像越不穩(wěn)定，基本可以判斷樣品帶電。

使用背散射或二次電子探測時信號不穩(wěn)定。

充電樣品表面電勢變化快，會讓檢測信號劇烈波動。若圖像亮度頻繁變化，就是明顯的充電跡象。

非導(dǎo)電樣品未噴鍍金屬層直接觀察時。

如樹脂、生物樣品、玻璃、塑料等材料，本身導(dǎo)電性差，若未采取導(dǎo)電處理措施，幾乎一定會產(chǎn)生充電。

三、輔助判斷方法

降低加速電壓后觀察變化。

若在高電壓（10–20 kV）下圖像不穩(wěn)，而在低電壓（1–3 kV）下明顯改善，說明樣品表面充電嚴(yán)重。

使用低真空或環(huán)境模式。

低真空SEM允許少量氣體存在，可中和電荷。如果切換到低真空模式后圖像穩(wěn)定，則可確認(rèn)是充電引起的問題。

觀察時間變化。

樣品長時間曝光后圖像逐漸變形或亮度變化，也說明電荷正在逐步積累。