在掃描電鏡觀察中，電子束可能會(huì)對(duì)樣品造成熱效應(yīng)或電荷累積，從而引發(fā)結(jié)構(gòu)改變。及時(shí)判斷樣品是否被電束損傷，有助于調(diào)整參數(shù)并保護(hù)樣品。

掃描電鏡判斷樣品是否被電束損傷的方法

圖像出現(xiàn)形變或塌陷

觀察到纖維塌縮、結(jié)構(gòu)熔化、邊緣軟化等形態(tài)變化，通常是熱損傷或束斑長(zhǎng)期停留造成的。

表面出現(xiàn)亮暗變化

局部區(qū)域突然變亮或變暗，說明表面材料特性或形貌已被改變。

樣品逐漸變焦難以維持

原本清晰的焦點(diǎn)逐漸無法再對(duì)準(zhǔn)，可能是表面結(jié)構(gòu)被破壞導(dǎo)致的焦平面改變。

掃描過程中出現(xiàn)局部凹坑或裂紋

高束流會(huì)出現(xiàn)明顯燒蝕痕跡，尤其在聚焦點(diǎn)強(qiáng)烈暴露時(shí)更常見。

重復(fù)掃描后圖像細(xì)節(jié)減少

細(xì)小結(jié)構(gòu)被電子束破壞后，重復(fù)掃描會(huì)發(fā)現(xiàn)紋理變模糊、孔洞消失或顆粒融合。

帶電樣品的異常電荷釋放現(xiàn)象

若損傷導(dǎo)致導(dǎo)電性變化，可出現(xiàn)突然閃亮、局部放電點(diǎn)等現(xiàn)象。