在掃描電子顯微鏡（SEM）中，深度探針是指電子束在樣本表面掃描期間所能達到的深度范圍。它與電子束的特性、樣本性質以及掃描參數(shù)有關。深度探針的大小決定了電子束在樣本表面上相對于表面的深度范圍，即電子束穿透樣本表面的程度。

深度探針在以下情況下會被考慮和使用：

表面形貌和拓撲分析： 當需要研究樣本的表面形貌、結構、紋理以及微觀拓撲特征時，可以使用較淺的深度探針，以確保電子束只在樣本表面掃描，不深入樣本內部。

斷面觀察： 有時需要觀察樣本的橫截面，了解樣本的內部結構和層次。在這種情況下，需要較大的深度探針，使電子束能夠穿透樣本表面并進入一定深度，從而觀察到樣本的內部層次。

化學成分分析： 使用能量色散X射線譜（EDS）附加設備，可以對樣本進行化學成分分析。適當選擇深度探針可以在不破壞樣本的情況下獲取元素分布信息。

導電性分析： 對于非導電的樣本，高探針電流可能引起電荷積累和圖像失真。選擇合適的深度探針可以減輕這些問題。

薄層和涂層分析： 對于涂層、薄層或多層結構的樣本，適當?shù)纳疃忍结樋梢詭椭^察不同層的界面和結構。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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