掃描電鏡的探針電流是什么？為什么需要控制？
日期：2023-08-14
掃描電子顯微鏡（SEM）中的探針電流是指掃描電子束照射到樣本表面時，每單位時間內被樣本表面吸收或散射的電子數量。探針電流的大小與樣本表面的電子云密度、形態結構以及電子束的強度等因素有關。
控制探針電流在SEM中是非常重要的，原因如下：
樣本損傷： 過高的探針電流可能導致樣本表面的電子云被過多地移除，從而造成表面損傷，甚至導致樣本的破壞。這在一些敏感的樣本或者有機材料中特別重要。
圖像質量： 探針電流的大小會直接影響SEM圖像的質量。過高的探針電流可能導致圖像過度曝光，失去細節并且產生強烈的反射。相反，適當控制的低探針電流可以獲得更清晰的圖像，減少噪聲和失真。
充電效應： 在一些非導電的樣本上，高電流的電子束可能導致樣本表面的電荷累積，從而引起圖像失真或者偽影。適當的探針電流可以減輕這種充電效應。
電子束的影響區域： 控制探針電流可以控制電子束在樣本表面的影響區域大小。較小的影響區域有助于獲得更高的圖像分辨率。
樣本保護： 控制探針電流可以延長樣本的壽命，減少在掃描過程中的樣本破壞，從而使SEM的使用更經濟有效。
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作者：澤攸科技