掃描電鏡的加速電壓如何影響圖像質量？
日期：2023-08-18
掃描電鏡（SEM）的加速電壓是指加速電子束的能量。加速電壓的選擇會直接影響SEM圖像的質量和特性。以下是加速電壓對圖像質量的影響：
分辨率：加速電壓對SEM圖像的分辨率有直接影響。較高的加速電壓可以產生較短的電子波長，從而提高圖像的空間分辨率。這意味著您可以更好地分辨樣品表面的細小特征。但是，過高的加速電壓可能會引發電子束穿透樣品表面，導致信號損失。
深度信息：低加速電壓可以在表面形成較深的電子云，從而獲得樣品表面的拓撲信息。高加速電壓則會減少電子云的深度，可能導致一些表面細節無法被很好地捕捉。
信號強度：高加速電壓會產生更多的次級電子，這些次級電子在與樣品交互后返回并被探測器捕獲。因此，較高的加速電壓通常會提供更高的信號強度，從而產生更明亮、更詳細的圖像。
樣品損傷：高加速電壓可能導致樣品電離和電子束誘發的損傷，特別是對于非導電樣品。在選擇加速電壓時，需要考慮樣品的特性，以避免損傷。
表面充電效應：低加速電壓通常會產生更強的表面充電效應，導致圖像中的光斑和背景扭曲。在一些情況下，這可能會影響圖像的解釋和分析。
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作者：澤攸科技
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