掃描電鏡樣本的尺寸和形狀對參數設置的影響
日期：2023-11-01
掃描電鏡（SEM）中的樣本尺寸和形狀對參數設置和成像的影響是很重要的。不同大小和形狀的樣本可能需要不同的參數設置，以獲得高質量的成像結果。以下是樣本尺寸和形狀對SEM參數設置的一些一般影響：
樣本大小：
小樣本：小樣本可能需要更高的放大倍數和更高的電子束電流，以獲得足夠的分辨率和信噪比。電子束的聚焦和定位可能需要更高的精度。
大樣本：大樣本可能需要較低的放大倍數和較低的電子束電流，以避免過度曝光和樣品燒傷。此外，大樣本可能需要更寬的深度和焦平面范圍。
樣本形狀：
凹凸不平的樣本：對于不平坦的樣本表面，需要更仔細的對焦和平面調整，以確保整個樣本表面都在焦點范圍內。
復雜形狀的樣本：對于具有復雜形狀的樣本，可能需要多次成像，以獲取更全的信息。此外，可能需要不同的角度來觀察樣本的各個部分。
樣本導電性：
導電性差的樣本：對于導電性差的樣本，可能需要更高的電子束電流和更長的掃描時間，以獲得足夠的信號。
導電性好的樣本：導電性好的樣本可以在較低的電子束電流下獲得清晰的成像，這有助于減少電子束對樣本的損傷。
樣本厚度：
厚樣本：對于較厚的樣本，可能需要更高的電子束電流，以克服樣本內部的散射。此外，可能需要進行透射電子顯微鏡（TEM）切片制備，以觀察樣本內部的微觀結構。
薄樣本：薄樣本通常對電子束非常敏感，可能需要較低的電子束電流和較短的掃描時間。
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作者：澤攸科技