掃描電鏡中的EDS（能譜分析）原理
日期：2023-11-28
掃描電鏡中的能譜分析，也稱為EDS，是一種用于分析材料成分的技術(shù)。以下是掃描電鏡中EDS的基本原理：
X射線產(chǎn)生： 掃描電鏡中的電子束與樣品相互作用時(shí)，會(huì)激發(fā)樣品中的原子內(nèi)部電子躍遷。當(dāng)內(nèi)部電子躍遷發(fā)生時(shí)，會(huì)產(chǎn)生輻射，其中包括X射線。
能譜采集： EDS系統(tǒng)使用能譜儀器來(lái)測(cè)量這些X射線的能量。能譜儀器通常由能量分辨率高的半導(dǎo)體探測(cè)器組成。當(dāng)樣品中的原子被激發(fā)時(shí)，每個(gè)元素都會(huì)發(fā)射特定能量的X射線。
元素識(shí)別： 每個(gè)元素都有獨(dú)特的X射線能譜，因此通過(guò)測(cè)量X射線的能譜，可以確定樣品中存在的元素種類及其相對(duì)豐度。能譜分析允許確定樣品中的主要和痕量元素。
定量分析： EDS系統(tǒng)還可以提供相對(duì)濃度信息，使用戶能夠?qū)Σ煌氐暮窟M(jìn)行定量分析。這通常需要使用標(biāo)準(zhǔn)樣品來(lái)校準(zhǔn)系統(tǒng)。
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作者：澤攸科技