掃描電鏡中改變樣品傾角會(huì)直接影響信號(hào)采集、分辨率、幾何畸變與表面信息呈現(xiàn)，是影響成像效果的關(guān)鍵因素之一。

1. 表面細(xì)節(jié)的變化

傾斜后表面微結(jié)構(gòu)的邊緣、凸起處更容易被電子束“側(cè)照”，陰影更明顯。

局部凹坑在大傾角下更清晰，因?yàn)閭?cè)向信息更突出。

2. 亮度與對(duì)比度變化

傾斜會(huì)改變?nèi)肷浣牵瑢?dǎo)致二次電子發(fā)射量變化，從而出現(xiàn)亮度增強(qiáng)或減弱。

高傾角一般提升邊緣對(duì)比，但會(huì)降低整體均勻性。

3. 分辨率受影響

傾角越大，入射點(diǎn)的電子束斑實(shí)際在樣品表面的“投影”變大，導(dǎo)致有效分辨率下降。

對(duì)于高倍率成像，大傾角容易造成畫面發(fā)糊。

4. 幾何畸變

傾角會(huì)讓圖像發(fā)生壓縮、拉伸等幾何變形，尤其是在樣品邊緣位置。

若需定量測(cè)量，傾角會(huì)使距離、角度、尺寸偏離真實(shí)值。

5. 信號(hào)采集方向性變化

二次電子探測(cè)器對(duì)方向敏感，傾角變化會(huì)改變信號(hào)收集效率。

背散射電子圖像在傾斜后會(huì)增強(qiáng)“成分對(duì)比”，但同時(shí)增加表面陰影。

6. 充電與束損傷風(fēng)險(xiǎn)變化

傾角增大時(shí)，局部入射劑量可能變高，易引起局部充電。

異常角度下電子束更容易在表面堆積，引發(fā)布局域損傷。