在掃描電鏡的高倍放大下，任何微小震動(dòng)都會(huì)放大成明顯抖動(dòng)。

1. 穩(wěn)固樣品固定

高倍下最常見(jiàn)問(wèn)題來(lái)自樣品未貼緊。確保樣品與樣品臺(tái)完全貼合，導(dǎo)電膠、夾具或金屬片壓片要固定牢，不得有翹角或松動(dòng)。

2. 降低環(huán)境振動(dòng)

關(guān)閉附近會(huì)產(chǎn)生震動(dòng)的設(shè)備，如真空泵、循環(huán)水機(jī)、臺(tái)式儀器等；確保顯微鏡放置在穩(wěn)定的臺(tái)面上，避免走動(dòng)、碰觸或開(kāi)關(guān)柜門(mén)造成微震。

3. 選擇較短的像素駐留時(shí)間

高倍時(shí)駐留時(shí)間太長(zhǎng)會(huì)放大抖動(dòng)，可適當(dāng)縮短 dwell time 或提高掃描速度，以減少運(yùn)動(dòng)累積誤差。

4. 調(diào)整工作距離（WD）與電子束條件

稍微增大 WD 或降低束流密度，可讓成像更穩(wěn)定，同時(shí)減少樣品的束流受熱翹動(dòng)。

5. 校準(zhǔn)掃描與對(duì)焦

高倍前先在低倍完成完全集中、天平與對(duì)焦補(bǔ)償，避免進(jìn)入高倍后不斷調(diào)節(jié)導(dǎo)致進(jìn)一步擾動(dòng)。

6. 控制樣品臺(tái)動(dòng)作

避免在高倍下使用連續(xù)移動(dòng)或傾斜，所有位置調(diào)整都應(yīng)在低倍完成；確認(rèn)樣品臺(tái)的驅(qū)動(dòng)模塊沒(méi)有松動(dòng)或背隙問(wèn)題。

7. 提高抽真空穩(wěn)定度

腔體未完全穩(wěn)定時(shí)，泵振與氣體流動(dòng)會(huì)引入輕微抖動(dòng)，應(yīng)在真空達(dá)到穩(wěn)定值后再進(jìn)入高倍模式。