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掃描電鏡放大倍率的正確使用方式

日期:2025-12-15

在掃描電鏡中,放大倍率的正確使用關系到分辨率、視場范圍和成像可靠性。合理選擇倍率,能避免誤判細節并提高成像效率。

從低倍開始逐級放大

先用低倍率尋找目標區域,再逐步提高倍率。

直接高倍容易迷失目標,也更容易受到漂移和充電影響。

倍率與分辨率要匹配

放大倍率提高并不等于分辨率提高。

若圖像細節模糊,說明倍率已超過當前束斑尺寸和成像條件的有效范圍。

高倍下縮小視場、降低掃描速度

高倍率時視場變小,應適當降低掃描速度、增加積分,以減少噪聲和抖動。

結合加速電壓和工作距離調整

高倍率成像通常配合較短工作距離和合適的電子束能量。

加速電壓過高可能增加樣品損傷或充電效應。

注意倍率標定與對比參考

不同模式下倍率可能存在偏差,精確測量應依賴標尺而非倍率數值本身。


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作者:澤攸科技


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