掃描電鏡掃描條紋的快速排查方法

1. 判斷是否充電

降低電壓到 1–5 kV，看條紋是否明顯減弱。

降束流。

樣品補(bǔ)鍍金/鍍碳，檢查導(dǎo)電膠接觸。

2. 判斷是否掃描系統(tǒng)或電子學(xué)噪聲

切換 Fast / Slow Scan，若條紋隨掃描速度變化，多為掃描系統(tǒng)或電子學(xué)問(wèn)題。

更換電源插座、確保良好接地。

3. 判斷是否環(huán)境干擾

關(guān)閉附近空調(diào)、壓縮機(jī)、電機(jī)、電梯等。

若條紋有周期性，多為電磁干擾。

4. 判斷真空是否不穩(wěn)

觀察真空值是否波動(dòng)。

檢查腔體密封、O-ring、泵狀態(tài)。

5. 判斷束流是否不穩(wěn)

畫(huà)面亮度跳動(dòng)或隨機(jī)條紋，多與燈絲老化或槍源不穩(wěn)有關(guān)。

預(yù)熱或檢查燈絲。